質譜真空泵的使用需要注意多個要點，對操作人員的技術要求也很高。在使用之前，操作人員必須接受相關培訓并熟悉泵油及系統的產物。在維護設備時，必須先將設備停止運行，降低溫度，并斷開泵及其他元件與電路的連接，以避免發生意外事故。
此外，質譜真空泵在運轉過程中會受到化學品的污染，因此需要確保泵是否清洗干凈，并采取足夠的措施防止有害物質對人員造成傷害。維護完畢后，應檢查是否有泄露的地方，如有，應重新密封。同時，不要接觸或吸入泵受高溫(260℃)產生的熱降解產物，因為它們是非常危險的，包括油、油脂和真空脂。
如果需要更換前置真空泵油，操作人員必須按照以下相關技術要求進行操作：
1.開啟泵運轉10分鐘以加熱泵油，然后關閉泵(加熱后的油可以降低其粘性，更容易倒出)。
2.斷開泵與電路及真空系統的連接，取下加油孔的塞子。
3.將泵放在一個適當的支撐物上，以便傾斜泵。在排油口下方放置合適的容器，取下排油口的塞子，讓油在重力作用下流入容器中。
4.如果油受到污染，取下加油孔的塞子，倒入干凈的油，重新連接泵與電路的連接，開啟泵運轉5-10分鐘。然后斷開電路連接，取下塞子，讓油流出。重復上述步驟直到將泵清洗干凈。
5.塞上排油口的塞子，移開支撐物，重新連接泵與電路及真空系統的連接。
6.加入新油，直到油位接近MAX位置附近。等待幾分鐘，直到油被抽入泵中。如果需要，可以再次添加油(需再次關閉泵)，塞上加油孔的塞子。
作為質譜真空泵的重要配件，質譜隔音罩在設備運行過程中起著重要作用。該隔音罩具有免敏、消毒表面、易于擦拭的特點，采用環保隔熱材料制成，具有防油和防水功能。設計精巧的導風系統可以最大限度地散熱，并且能夠有效地隔音。
