質譜專用氮氣發生器采用模塊化一體化無油壓縮機，不依賴外接壓縮氣源，有效提高供氣安全性，采用膜分離技術制氮，可連續獲得清潔、干燥，無需二次純化，不含鄰苯二甲酸鹽的氮。氮氣純度和流量穩定，使用壽命長。流量范圍從5l/min到200l/min，可同時向一臺或多臺儀器供應氮氣。
這是一項開創性的氣體分離技術，采用進口碳分子篩（CMS）作為吸附劑，利用變壓吸附（PSA）原理在常溫下分離空氣，生產高純氮氣。氧氣和氮氣在分子篩表面的分散速度不同，直徑較小的氣體分子（O2）分散速度較快，進入碳分子篩的微孔較多。直徑較大的氣體分子（N2）分散速度較慢，進入碳分子篩孔隙的較少。這種碳分子篩對氮和氧的選擇性吸附差異，導致在短時間內富集吸附相中的氧和氣相中的氮，從而將氧和氮分離，產生PSA下的氣相富氮條件。
質譜專用氮氣發生器將具有一定流量和純度的普通氮氣和氫氣液相色譜氣體進入設定裝置。在混合器中充分混合后，進入含有鈀催化劑的脫氧劑的凝固裝置。在脫氧催化劑的作用下發生2h2+o2=2h2o的化學反應，達到脫氧的目的。脫氧后，氮氣中的水蒸氣在首末冷卻器中脫水，再將氮氣逐一通入單調，使氮氣的露點達到-60℃左右。配備兩臺單調單元，一臺單調吸附，另一臺單調再生吸附大量水蒸氣，為下一輪吸附工作做準備。通過單調氮氣過濾器除塵得到高純氮氣，分子篩對氧氣的吸附達到平衡。根據碳分子篩在不同壓力下對吸附氣體的吸附能力不同，壓降使碳分子篩不吸附氧氣。此過程為再生，根據再生壓力不同可分為真空再生和常壓再生。常壓再生有利于分子篩的*再生，容易獲得高純度氣體。設備不使用時應先切斷電源，待冷卻后關閉所有閥門，再停止供氣，以減少下次使用時更換系統的時間.
